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Microlithography.
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dey, jim
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society of photo-optical instrumentation engineers
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bowden, m. j.,
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1.
Microlithography : process technology for IC fabrication /
订购中
著者:
David J. Elliott.
出版社:
McGraw-Hill,
出版日期: c1986.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
73.7515/E46
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内容简介
著者简介
2.
Semiconductor microlithography V /
订购中
著者:
Dey
Jim.
出版社:
SPIE,
出版日期: 1980.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TN405-53/1
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内容简介
著者简介
3.
Semiconductor microlithography VI : March 30-31, 1981, San Jose, California /
订购中
著者:
Dey
Jim.
出版社:
SPIE--the International Society for Optical Engineering,
出版日期: c1981.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TN82-53/1
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内容简介
著者简介
4.
12th annual Southeastern symposium on system theory.
订购中
著者:
出版社:
s.n.],
出版日期: 1980
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
51.942083/T971
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内容简介
著者简介
5.
Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication /
订购中
著者:
Chris Mack.
出版社:
Wiley,
出版日期: c2007.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TN405.7/M153
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内容简介
著者简介
6.
Optomechatronic Micro/Nano devices And components : 5-7 december 2005, Sapporo, Japan /
订购中
著者:
Yoshitada Katagiri
chair/editor ; Sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
Cosponsored by Hokkaido University (Japan)
Sapporo International Plaza (Japan)
出版社:
SPIE,
出版日期: c2005.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TB383-532/O62
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内容简介
著者简介
7.
Lithography : main techniques /
订购中
著者:
Landis
Stefan.
出版社:
ISTE ;
出版日期: 2011.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TN305.7/L776
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内容简介
著者简介
8.
Functional nanostructured materials through multiscale assembly and novel patterning techniques : symposium held April 2-5, 2002, San Francisco, California,U.S.A. /
已借1次.
订购中
著者:
Moss
Steven C.
Dickson
Robert M.
出版社:
Materials Research Society,
出版日期: c2002.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TB383-532/F979
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内容简介
著者简介
9.
Polymers for high technology : electronics and photonics /
订购中
著者:
Bowden
M. J.
Turner
S. Richard
出版社:
The Society,
出版日期: 1987.
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
82.9373/B784
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内容简介
著者简介
10.
TSV 3D RF integration : HR-Si interposer technology /
订购中
著者:
Jin
Yufeng
出版社:
出版日期:
文献类型:
图书(纸本) , 索书号:
TN405/M111
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