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1.
出版社: Springer,   出版日期: c2011.
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TH-39/M533.1
2.
MEMS材料与工艺手册 已借10次.
出版社: 东南大学出版社   出版日期: 2014
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TN4/106