文献类型

1. 图书（纸本） (3)
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主题

1. 光子束光刻 (1)
2. 曝光 (1)
3. 电子束 (1)
4. 离子束加工 (1)
5. 离子束聚变装置 (1)
6. 设备 (1)
7. 超大规模集成电路 (1)
8. 集成电路工~艺 (1)
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著者

1. 顾文琪, (2)
2. 刘俊标 (1)
3. 刘俊标，薛虹，顾文琪著 (1)
4. 李文萍, (1)
5. 王理明 (1)
6. 王理明 ... [等] 著 (1)
7. 薛虹 (1)
8. 顾文琪 (1)
9. 顾文琪, 马向国, 李文萍著 (1)
10. 顾文琪主编 (1)
11. 马向国, (1)
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出版日期

1. 2004 (2)
2. 2006 (1)
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馆藏地点

1. 南湖保存本图书借阅区 (3)
2. 西院中文图书借阅区 (3)
3. 余区图书保存本库 (2)
4. 东院中文图书借阅区 (2)
5. 西院三线书库 (2)
6. 材料学院资料室(西院) (1)
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图书馆

1. 武汉理工大学图书馆 (3)
2. 材料学院 (1)
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语言种类

1. 汉语 (3)
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在馆

1. 在馆 (3)
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分面检索

资源类型

1. 纸质资源 不在馆 (3)
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