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1.
出版社: [出版者不详]   出版日期: 1983
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TP36/W221
2.
著者: 张光华
出版社: 机械工业出版社   出版日期: 1982
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: 73.7214/937
3.
出版社: 机械工业出版社   出版日期: 2005
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TL501/12
4.
著者: 黄守伦
出版社: 机械工业出版社   出版日期: 2002
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TG156.8/1
5.
硅MEMS工艺与设备基础 已借3次.
出版社: 国防工业出版社   出版日期: 2018
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TH-39/338