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氢化非晶硅薄膜的直流和射频磁控溅射法制备及其表征
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氢化非晶硅薄膜的直流和射频磁控溅射法制备及其表征
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著者:
潘震
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文献类型:
学位论文 , 索书号:
TB43/59
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