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4. 理学院 (6)
5. 能源与动力学院 (1)
6. 信息工程学院 (5)
7. 自动化学院 (4)
8. 资源与环境工程学院 (7)
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馆藏地点

1. 余区图书保存本库 (30)
2. 南湖图书借阅区 (26)
3. 南湖保存本图书借阅区 (25)
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16. 材料学院资料室(西院) (2)
17. 能源与动力学院资料室(余区) (1)
18. 化学化工与生命科学学院（南湖） (1)
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主题

1. 半导体技术 (57)
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3. 中国 (6)
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17. 半导体物理 (2)
18. 半导体电子学 (2)
19. 干法刻蚀 (2)
20. 技术 (2)
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著者

1. 《半导体手册》翻译组译 (7)
2. 中国科学技术情报研究所 (3)
3. 夏建白 (3)
4. 何杰 (2)
5. 何杰, 夏建白主编 (2)
6. 国家半导体照明工程研发及产业联盟 (2)
7. 国家新材料行业生产力促进中心 (2)
8. 国家新材料行业生产力促进中心, 国家半导体照明工程研发及产业联盟编 (2)
9. 方志烈 (2)
10. 方志烈编著 (2)
11. 段宝兴 (2)
12. 罗静成 (2)
13. 罗静成著 (2)
14. (希) 康斯坦丁·泽肯特斯, (英) 康斯坦丁·瓦西列夫斯基等著 (1)
15. (意) 法布里齐奥·罗卡福特, (波) 迈克·莱辛斯基主编 (1)
16. (意) 里卡尔多·达阿戈斯蒂诺 ... [等] 著 (1)
17. (日) 光信息通信技术手册编辑委员会编 (1)
18. (日) 司马良亮 ... [等] 译 (1)
19. (日) 松波弘之 ... 等编著 (1)
20. (日) 水野文夫, 鹰野致和著 (1)
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出版日期

1. 1970 (6)
2. 2023 (5)
3. 1974 (4)
4. 2005 (4)
5. 2012 (4)
6. 2018 (4)
7. 1971 (3)
8. 1980 (3)
9. 1986 (3)
10. 2017 (3)
11. 2022 (3)
12. 2024 (3)
13. 1975 (2)
14. 1977 (2)
15. 1987 (2)
16. 2004 (2)
17. 2006 (2)
18. 2007 (2)
19. 2009 (2)
20. 2020 (2)
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文献类型

1. 图书（纸本） (76)
2. 学位论文 (13)
3. 期刊（纸本） (7)
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语言种类

1. 汉语 (83)
2. 英语 (1)
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在馆

1. 在馆 (96)
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