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1.
MEMS技术及其应用 已借13次.
著者: 李德胜
出版社: 哈尔滨工业大学出版社   出版日期: 2002
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TM38/2
2.
微电机结构工艺学 已借6次.
出版社: 哈尔滨工业大学出版社   出版日期: 1997
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TM380.3/Z257.1
3.
出版社: 哈尔滨工业大学出版社   出版日期: 2016
文献类型: 图书(纸本) , 索书号: TM38/31