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29. 应急安全管理学院
30. 交通学院
31. 剔旧库
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馆藏地点

1. 西院博硕论文库 (2)
2. 南湖图书借阅区 (1)
3. 西院中文图书借阅区 (1)
4. 西院西文图书保存本库 (1)
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主题

1. 等离子体增强化学气相沉积 (2)
2. amorphous silicon (1)
3. integrated circuits (1)
4. plasma enhanced chemical vapor deposition (1)
5. polysilicon (1)
6. sicl4 (1)
7. silicon (1)
8. 世界 (1)
9. 产业发展 (1)
10. 半导体材料 (1)
11. 多晶硅 (1)
12. 硅 (1)
13. 硼掺杂非晶硅 (1)
14. 非晶硅 (1)
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著者

1. symposium on polysilicon films and interfaces (1)
2. thompson, c. v (1)
3. tu, k. n (1)
4. wong, c. y (1)
5. 姜宏 (1)
6. 沈峰 (1)
7. 王世江 (1)
8. 王世江著 (1)
9. 赵修建 (1)
10. 郝江波 (1)
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出版日期

1. 2017 (1)
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文献类型

1. 图书（纸本） (3)
2. 学位论文 (1)
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语言种类

1. 汉语 (1)
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在馆

1. 在馆 (4)
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