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HVPE法生长自支撑GaN单晶及其性质研究

题名/责任者:
HVPE法生长自支撑GaN单晶及其性质研究 / 田媛著
ISBN:
978-7-5517-2274-2 价格: CNY48.00
语种:
汉语
载体形态:
106页 : 图 ; 26cm
出版发行:
沈阳 : 东北大学出版社, 2019
内容提要:
本书介绍了获得高质量自支撑GaN单晶的方法,内容包括采用低温缓冲层技术生长自支撑GaN单晶、在SiC的C面直接生长自支撑GaN单晶、高温退火法表征GaN中的位错、采用高温退火衬底生长自支撑GaN单晶、采用两步腐蚀衬底生长自支撑GaN单晶等。
主题词:
单晶 晶体生长 研究
中图分类法 :
O782 版次: 5
主要责任者:
田媛
使用对象附注:
本书适用于半导体材料研究人员
标签:
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