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Optical characterization techniques for semiconductor technology : April 1-2, 1981, San Jose, California /

ISBN/ISSN:
0892523093 (pbk.)
中图分类法 :
TN3-53
题名:
Optical characterization techniques for semiconductor technology [April 1-2, 1981, San Jose, California ]
出版发行:
Bellingham, Wash. : Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 1981.
载体形态:
x, 262 p. : ill. ; 28 cm.
主题词:
Semiconductors Testing Optical methods
主要责任者:
Aspnes, D. E.
主要责任者:
So, S. (Samuel S.)
主要责任者:
Potter, Roy F.
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