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Silicon nitride for microelectronic applications / |
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ISBN/ISSN:
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0306671069 (v. 2 : v. 6) |
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ISBN/ISSN:
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0306671034 (v. 1 : v. 3) |
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中图分类法
:
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TN104 |
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著者:
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Milek, John T. |
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题名:
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Silicon nitride for microelectronic applications / |
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出版发行:
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New York : IFI/Plenum, 1971-72. |
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载体形态:
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2 v. (118, 117 p.) : ill. ; 28 cm. |
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主题词:
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Silicon nitride. |
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主题词:
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Microelectronics Materials. |
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标签:
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相关主题:
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相关资源:
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分享资源:
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限定所在馆:
限定所在馆藏地点:
限定馆藏状态:
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